型号(Model):JGP450
生产商(Manufacturer):中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
用途(Applications):用于氧化物以及金属薄膜的制备(To fabricate oxide and metal thin films)
主要参数(Main Parameters): 极限真空度(Ultimate pressure):6×10-6 Pa 最高加热温度(Substrate temperature):~800 °C
负责人(Responsible persons): 诸葛飞(Dr. Fei Zhuge)Tel:86685019