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JGP450型高真空溅射系统

型号(Model):JGP450

生产商(Manufacturer):中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司

用途(Applications):用于氧化物以及金属薄膜的制备(To fabricate oxide and metal thin films)

主要参数(Main Parameters):
极限真空度(Ultimate pressure):6×10-6 Pa
最高加热温度(Substrate temperature):~800 °C

负责人(Responsible persons):
诸葛飞(Dr. Fei Zhuge)Tel:86685019

 

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