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快速退火炉

型 号(Model): RTP500V

生产商(Manufacturer): 北京东之星物理研究所

Beijing East Star Research Office of Applied Physics
用 途(Applicatio):
离子注入后快速退火;欧姆接触快速合金;硅化物合金退火;氧化物生长;其它快速热处理工艺。
Rapid Thermal Anneal (RTA), Rapid Thermal Oxidation (RTO), Rapid Thermal Nitridation (RTN), Rapid Thermal Diffusion (RTD), Silicides and Contact formation

主要参数(Main Parameters):
温度范围(Temperature Range):150~1300℃
最大升温速率(Maximum Rate):200℃/s
样品最大尺寸(Maximum Sample Size):4 inch
气氛(Atmosphere):Vacuum(0.1Pa)、H2、N2、Ar、O2

负 责 人(Person in Charge:
杨晔, ( Dr. Ye YANG ) , Tel:86685162
黄金华,(Dr. Jinhua HUANG), Tel: 86685130

 

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